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연구실적

폐웨이퍼

작성자 최고관리자

작성일 2022.10.20

214회

폐웨이퍼는 반도체를 생산하고 수명을 다한 웨이퍼나 웨이퍼 자체에 도금이나 표면처리가 불량이어서 폐기하는 웨이퍼를 말하는데
이를 재생 처리하는 공정이 대부분 물리적 연마로 처리를 하였습니다. 하지만 재생 웨이퍼의 크기가 시간이 지나갈수록 적어지면서 물리적 처리의 한계가 생기게 되어
문제가 발생하였습니다.
이를 해결하기 위한 지속적인 연구 개발을 통하여 우리 순정의 독창적인 재생공정을 확립하게 되어 현재 적용 중에 있으며, 수율과 청정도를 높이기 위해서 노력하고 있습니다.

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